SDS

1 研磨液配管循环管路

Ø 研磨液整个循环管路中具有流量、流速、压力控制

Ø 研磨液管路VMB配置数量至少有2个接口,需要独立阀门控制,可连接过滤器

2 研磨液调和槽部分

Ø 研磨液可控制最小精度、配比精度

Ø 研磨液同纯水可配比，且配比速度快

Ø 研磨液调和槽形状圆形且底部为锥形，容量大,保证调和槽内湿度,双槽可自动切换，具有循环搅拌功能.

Ø 调和槽纯水洗净喷头可360度全方位旋转,保证清洗效果

3 原液供应桶设计

Ø 依客户需求配置原液供应桶数量

Ø 原液桶液位检测功能

Ø 设备具备条形码阅读功能

4 系统设计

Ø 研磨液主循环管路连续循环供液方式（ASTI）

Ø 装置有独立的过滤器管路

5 重要部件指定

Ø 研磨液循环管路配管管径及材质：透明PVC+PFA双套管做配送